真(zhen)空泵是真(zhen)空干燥箱的必須品之一，客(ke)戶選用真空泵時(shi)，需要(yao)注意下(xia)列事項:

1、真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)的工作壓(ya)(ya)強應該滿足(zu)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)設(she)備的極限真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)及工作壓(ya)(ya)強要(yao)求(qiu)。如:真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)鍍膜(mo)要(yao)求(qiu)110-5mmHa的真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度，選用(yong)的真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)的真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度至少要(yao)510-6mmHa。通(tong)常選擇泵(beng)(beng)的真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度要(yao)高于(yu)真空設備真空度半個到一個數(shu)量級。

2、正(zheng)確地選(xuan)擇真空泵(beng)的(de)(de)工作點。每種泵(beng)都有一定(ding)的(de)(de)工作壓強(qiang)范圍(wei)，如:擴散泵(beng)為10-3~10-7mmHg，在(zai)這(zhe)樣寬壓強(qiang)范圍(wei)內(nei)，泵(beng)的(de)(de)抽速(su)隨壓強(qiang)而(er)變(bian)化，其(qi)穩(wen)定(ding)的(de)(de)工作壓強(qiang)范圍(wei)為510-4~510-6mmHg。因(yin)而(er)，泵(beng)的(de)(de)工作點應該選(xuan)在(zai)這(zhe)個范圍(wei)之內(nei)，而(er)不能讓它在(zai)10-8mmHg下(xia)長期工作。又如鈦(tai)升華泵(beng)可以在(zai)10-2mmHg下(xia)工作，但其(qi)工作壓強(qiang)應小于110-5mmHg為好(hao)。

3，真空(kong)泵(beng)在(zai)其工作壓強下，應能(neng)排走真空(kong)設備工藝過程中產生的(de)全(quan)部氣體量

4、正確地組(zu)(zu)合(he)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)。由干真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)有選擇性抽(chou)(chou)氣(qi)，因而，有時(shi)選用一種泵(beng)(beng)不能(neng)(neng)滿(man)足抽(chou)(chou)氣(qi)要求，需(xu)要幾種泵(beng)(beng)組(zu)(zu)合(he)起來(lai)，互相補(bu)充才能(neng)(neng)滿(man)足抽(chou)(chou)氣(qi)要求。如鈦升(sheng)華泵(beng)(beng)對(dui)氫有很高的(de)(de)抽(chou)(chou)速，但不能(neng)(neng)抽(chou)(chou)氦，而三極型(xing)濺射(she)離(li)子(zi)泵(beng)(beng)，(或二極型(xing)非(fei)對(dui)稱陰極測射(she)離(li)子(zi)泵(beng)(beng))對(dui)氙(xian)有一定(ding)的(de)(de)抽(chou)(chou)速，兩者組(zu)(zu)合(he)起來(lai)，便(bian)會使真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)裝苦得到較好的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度。另(ling)外，有的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(beng)不能(neng)(neng)在大氣(qi)壓(ya)下下作，需(xu)要

預真空(kong)(kong);有(you)的真空(kong)(kong)泵(beng)出口壓強(qiang)低于大氣壓，需要(yao)前(qian)級泵(beng)，故(gu)都需要(yao)把泵(beng)組合起來使用。

5、真(zhen)空設(she)備(bei)對油(you)(you)污(wu)染(ran)的(de)要(yao)(yao)求。若設(she)備(bei)嚴格(ge)要(yao)(yao)求無油(you)(you)時，應(ying)該選各種無油(you)(you)泵(beng)(beng)，如;水環(huan)泵(beng)(beng)，分子(zi)篩(shai)吸附泵(beng)(beng)，濺射(she)離(li)子(zi)泵(beng)(beng)，低溫(wen)泵(beng)(beng)等。如果要(yao)(yao)求不嚴格(ge)，可以選擇(ze)有油(you)(you)泵(beng)(beng)，加上一(yi)些防油(you)(you)污(wu)

染措(cuo)施，如加冷(leng)阱、障板、擋油阱等(deng)，也能達(da)到清潔(jie)真空要求。

6.了解被(bei)抽(chou)氣(qi)體(ti)成分，氣(qi)體(ti)中含(han)不(bu)含(han)可(ke)凝(ning)蒸氣(qi)，有(you)(you)無顆(ke)粒(li)灰塵，有(you)(you)無腐蝕性等(deng)。選(xuan)擇(ze)真空泵(beng)時，需要(yao)知道(dao)氣(qi)體(ti)成分，針對被(bei)抽(chou)氣(qi)體(ti)選(xuan)擇(ze)相應的泵(beng)、如果氣(qi)體(ti)中含(han)有(you)(you)蒸氣(qi)，顆(ke)粒(li)，及腐蝕

性(xing)氣體，應該考慮在泵的(de)進氣口(kou)管路上安裝輔助設備，如(ru)冷凝器(qi)、除塵器(qi)等。

7、真(zhen)空泵排出來的油(you)蒸氣對環境(jing)的影響如(ru)何。如(ru)果(guo)環境(jing)不允(yun)許有污(wu)染，可以選無油(you)真(zhen)空泵，或(huo)者把油(you)蒸氣排到(dao)室外。

8、真空泵(beng)工作時產(chan)生的振動對工藝過(guo)程及環境(jing)有無(wu)影響，若工藝過(guo)程不允許，應選擇無(wu)振動的泵(beng)或者采取(qu)防(fang)振動措施。